HEMADE MHS300V-4P、MHS400V-4P探针冷热台是一款专门针对半导体芯片研发、测试而设计的产品。这款探针冷热台拥有高精度的探针位移平台，具有良好的真空性能和精准的温控系统。

温度范围： -196℃~400℃

加热区： φ27mm

探针行程： 13mm

探针位移精度 1μm

探针针尖直径（默认） 100μm

物镜工作距离： 15mm

通光孔直径： 2mm

最大升温速率： 0~60℃/min

观察窗： φ40mm

温控精度： 0.1℃

极限真空： 1pa（机械泵）,5x10^(-3)pa(分子泵)

支持反射/透射模式

支持改动和定制

上位机软件控制