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MC12 晶圆卡盘
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HEMADE的卡盘温控系统,拥有宽泛的温度测试范围,紧凑的卡盘设计和稳定的温度控制系统。我们提供多种定制服务,根据客户的实验需求对诸如平面度,温度范围,升降温速率等各种参数进行调整。

我们也可以按照客户的需求定制不同尺寸的温控台面和样品夹具。

 

温度范围: -50℃~300℃(可定制)

加热区: 12寸(4寸,6寸,8寸)

最大升温速率: 10℃/min

温控精度: 0.1℃

温度均匀性: 30~200℃ < ±2℃,200~300℃ < ±1%(φ300mm 均匀度面积)

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